LPCVD/PECVD/MOCVD/ Plate CVD

Produkter

• Stort aluminiumshulrum

• Optisk fiberindustri

  Vakuum sintringsovn

• Luftfartsindustrien

• Siliciumkrystalvækstovnshus

  LPCVD/PECVD/MOCVD/ Plade CVD

• Tredje generations halvleder-enkeltkrystalvækstovn

• Kemisk dampaflejringsbelægningsmaskinehulrum (CVD)

• Fysisk dampaflejringsbelægningsmaskinehulrum (PVD)

  Magnetron-sputteringbelægningsudstyr

  Udstyr til belægning af lysbuefordampning

  Molekylær stråleepitaksi (MBE) udstyr

  Lasersputteringdeponeringsudstyr (PLD)

  Multi-arc ionpletteringsudstyr

• Kontinuerlig linjebelægningskavitet

• Halvledervakuumkammer

• Brintenergi/litiumbatteriindustrien

  PEM hydrogenelektrolysørens endeplade

• Farmaceutisk og kemiteknik

  Maskinens indre membran udlufter maskinens hulrum.

  Varmevekslerrørledning

  Elektronisk skumdæmper

  Varmetand