고진공/초고진공 반도체 진공 챔버

제품

• 대형 알루미늄 진공 챔버

• 광섬유 산업용 진공 챔버

• 항공우주 진공 챔버

• 실리콘 결정 성장로 본체

• 제3세대 반도체 단결정 성장로

• 박막 증착 장비

  증착 챔버

  증착 장비 부품

• 연속 코팅 진공 챔버

• 고/초고진공 반도체 진공 챔버

• 수소 에너지/리튬 배터리 장비

• 의약 및 화학 장비