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• 大型アルミニウム真空チャンバー

• 光ファイバー産業用真空チャンバー

• 航空宇宙用真空チャンバー

• シリコン結晶成長炉本体

• 第三代半導体単結晶成長炉

• 薄膜堆積装置

  堆積チャンバー

  堆積装置部品

• 連続コーティング真空チャンバー

• 高／超高真空半導体真空チャンバー

• 水素エネルギー／リチウム電池機器

• 医薬品および化学機器