半導体用真空チャンバー

製品

• 大型アルミニウムキャビティ

• 光ファイバー産業

  真空焼結炉

• 航空宇宙産業

• シリコン結晶成長炉本体

  LPCVD／PECVD／MOCVD／プレートCVD

• 第3世代半導体単結晶成長炉

• 化学気相成長コーティング装置腔室（CVD）

• 物理気相成長コーティング装置腔室（PVD）

  マグネトロンスパッタリングコーティング装置

  アーク蒸着コーティング装置

  分子線エピタキシー（MBE）装置

  レーザー飛散成膜装置 (PLD)

  マルチアークイオンプレーティング装置

• 連続ラインコーティング腔

• 半導体用真空チャンバー

• 水素エネルギー／リチウム電池産業

  PEM水素電解器エンドプレート

• 製薬および化学工学

  機械の内膜が機械内の空気を除去する

  熱交換器パイプライン

  電子式消泡装置

  交換器