제품

제품

• 대형 알루미늄 캐비티

• 광섬유 산업

  진공소결로

• 항공우주 산업

• 실리콘 단결정 성장로 본체

  LPCVD/PECVD/MOCVD/플레이트 CVD

• 3세대 반도체 단결정 성장로

• 화학기상증착(CVD) 코팅기 캐비티

• 물리기상증착(PVD) 코팅기 캐비티

  마그네트론 스퍼터링 코팅장비

  아크증발 코팅장비

  분자선 에피택시(MBE) 장비

  레이저 스퍼터링 증착(PLD) 장비

  다중아크 이온 도금 장비

• 연속 라인 코팅 캐비티

• 반도체 진공 챔버

• PEM 수소 전해조 엔드 플레이트

  수소 에너지/리튬 배터리 산업

• 의약 및 화학 공학

  기계 내부의 막은 기계 캐비티를 탈기합니다

  열교환기 파이프라인

  전자식 제습기

  열교환기