Polovodičová vakuová komora

Produkty

• Velká hliníková dutina

• Průmysl optických vláken

  Vakuová slinovací pec

• Aeronautický průmysl

• Těleso pece pro růst krystalů křemíku

  LPCVD/PECVD/MOCVD/ CVD destička

• Pec pro růst monokrystalů polovodičů třetí generace

• Dutina stroje pro chemické nanášení par (CVD)

• Dutina stroje pro fyzikální nanášení par (PVD)

  Zařízení pro magnetronové naprašování

  Zařízení pro obloukové napařování

  Zařízení pro molekulární epitaxi (MBE)

  Zařízení pro laserové naprašování (PLD)

  Víceobloukové iontové pokovovací zařízení

• Kontinuální linka nanášení povlaku na dutinu

• Polovodičová vakuová komora

• Průmysl vodíkové energie/lithiových baterií

  Koncová deska PEM vodíkového elektrolyzéru

• Farmaceutické a chemické inženýrství

  Vnitřní membrána stroje odvzdušňuje dutinu stroje

  Potrubí výměníku tepla

  Elektronický odpěňovač

  Výměník Tepla