Півпровідникові вакуумні камери

Продукти

• Велика алюмінієва порожнина

• Оптоволоконна промисловість

  Вакуумна піч для спікання

• Авіаційно-космічна промисловість

• Корпус для вирощування кристалів кремнію

  LPCVD/PECVD/MOCVD/ Пласова CVD

• Піч для вирощування монокристалів напівпровідників третього покоління

• Камера машини для нанесення покриття методом хімічного осадження з парової фази (CVD)

• Камера машини для нанесення покриття методом фізичного осадження з парової фази (PVD)

  Обладнання для нанесення покриття методом магнетронного розпилення

  Обладнання для дугового випаровування покриття

  Обладнання для молекулярно-променевої епітаксії (MBE)

  Обладнання для лазерного розпилювання осадження (PLD)

  Обладнання для багатодугового іонного покриття

• Камера нанесення покриття безперервною лінією

• Вакуумна камера для напівпровідників

• Гідрогенна енергетика/літій-іонна батарея

  Кінцева пластина електролізера PEM для отримання водню

• Фармацевтична та хімічна інженерія

  Внутрішня мембрана машини видаляє повітря з машинного відсіку

  Теплообмінний трубопровід

  Електронний антипін

  Змінник тепла