製品

製品

• 大型アルミニウム鋳造炉

• 光ファイバー産業

  真空焼結炉

• 航空宇宙産業

• シリコン単結晶成長炉本体

  LPCVD/PECVD/MOCVD/プレートCVD

• 第三代半導体単結晶成長炉

• 化学気相成長装置 腔体（CVD）

• 物理気相成長装置 腔体（PVD）

  マグネトロンスパッタリング成膜装置

  アーク蒸着成膜装置

  分子線エピタキシー（MBE）装置

  レーザー スパッタリング堆積（PLD）装置

  マルチアークイオンプレーティング装置

• 連続ラインコーティング キャビティ

• 半導体真空チャンバー

• 水素エネルギー/リチウム電池産業

  PEM水素電解槽エンドプレート

• 医薬品および化学工学

  機械の内膜は機械キャビを脱気します

  熱交換器パイプライン

  電子式除霧器

  熱交換器